내구성
매우 가혹한 공정을 위해 특별히 설계, 높은 파티클 수용력, 우수한 내부식성
신뢰성
수명 연장
고성능
동급 최고의 압축비, 업계 최저 전력 소비
기술 사양
시장 & 어플리케이션
반도체 응용 분야
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금속 및 높은 K 에칭
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LPCVD / 확산
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미세가공기술
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스트리핑 / 애싱
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ALD
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PECVD
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코발트, WCVD, TiN 및 TDMAT
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풀림
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Si Poly 에칭
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라이트 메탈 증착
태양열 발전 산업용
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셀 제조