坚固耐用
专为要求极其严苛的工艺而设计，高颗粒耐受性，出色的耐腐蚀性
可靠
延长使用寿命
性能卓越
同类产品中压缩比最佳，市场上功耗最低
技术规格
市场和应用
半导体应用
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金属和高 K 蚀刻
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LPCVD / 扩散
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光刻技术
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剥离 / 灰化
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ALD
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PECVD
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钴、WCVD、TiN 和 TDMAT
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退火
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Si Poly etch
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轻沉积
太阳能发电行业
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电池制造