유연성
특정 공정 요구 사항에 맞는 맞춤형 설계
편리한 수리
정면에서만 서비스 관련 접근 가능, 분해 소요 시간 1분 미만, 마모 부품 감소로 인한 낮은 소유 총 비용
효율성
습식 스크러버가 통합된 전기 가열식 폐가스 처리 시스템, 수소 주입을 통해 연소 온도를 높여 PFC 및 기타 가스 파괴
기술 사양
시장 & 어플리케이션
반도체 응용 분야
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LPCVD / 확산
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산화물 에칭
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PECVD
액세서리
- 가열 재킷
- 폐기물 가스 유입구용 N₂ 가열
- 가스 유출구용 팬 키트