灵活
按特定工艺要求定制设计
便于保养
所有保养相关访问点均位于设备正面,拆卸时间少于一分钟,磨损部件少,总拥有成本低
高效
配备集成湿式洗涤器的电加热废气处理系统,通过氢气注入提升燃烧温度,有效破坏 PFC 和其他气体
技术规格
市场和应用
半导体应用
-
LPCVD / 扩散
-
氧化物蚀刻
-
PECVD
配件
- 加热套
- 废气入口氮气加热
- 排气风扇套件
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按特定工艺要求定制设计
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配备集成湿式洗涤器的电加热废气处理系统,通过氢气注入提升燃烧温度,有效破坏 PFC 和其他气体