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热湿混合法

或直接给我们拨打电话: +49 (0)6441 802-1222

灵活

按特定工艺要求定制设计

便于保养

所有保养相关访问点均位于设备正面,拆卸时间少于一分钟,磨损部件少,总拥有成本低

高效

配备集成湿式洗涤器的电加热废气处理系统,通过氢气注入提升燃烧温度,有效破坏 PFC 和其他气体

技术规格

市场和应用

半导体应用
  • LPCVD / 扩散
  • 氧化物蚀刻
  • PECVD

配件

  • 加热套
  • 废气入口氮气加热
  • 排气风扇套件