신뢰성
동급 최고의 하이브리드 베어링 기술, 긴 수명 주기, 최대 가동 시간
낮은 표유 자기장
고해상도 전자 현미경 등의 고감도 응용 분야
저소음
특허 받은 레이저 밸런싱 기술과 내장형 베어링의 조합으로 낮은 소음과 진동 수준을 구현합니다
기술 사양
시장 & 어플리케이션
자동차 및 운송
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열 처리
금속 공정
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진공 납땜/솔더링
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열 처리
반도체 응용 분야
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PVD
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검사 및 계측학
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금속 및 높은 K 에칭
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LPCVD / 확산
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미세가공기술
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산화물 에칭
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스트리핑 / 애싱
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ALD
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PECVD
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Si Poly 에칭
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로드 잠금 및 이동
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라이트 메탈 증착
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이온 이식