유연성
최단 로드록 챔버 펌핑 시간
효율성
매우 낮은 에너지 소비량, 유지보수 최소화, 높은 가동 유지 시간
컴팩트
예외적 수준의 소형 및 경량
기술 사양
시장 & 어플리케이션
연구 및 R&D
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광자 조사
반도체 응용 분야
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PVD
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검사 및 계측학
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미세가공기술
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풀림
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로드 잠금 및 이동
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이온 이식
박막 코팅
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실험실 코팅