灵活
对 load lock 腔体实现最短抽真空时间
高效
能耗低，维护工作量少，正常运行时间长
结构紧凑
尺寸小巧、重量轻盈
技术规格
市场和应用
分析及实验室
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光子学研究
半导体应用
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PVD
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检验与计量
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光刻技术
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退火
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Load lock 和 传输
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离子注入
薄膜镀层
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实验室涂层