신뢰성
누출 및 전도성 변동의 영향 감소, 높은 재현성, 안정적인 공정 제어를 통한 불량품 방지
제어 및 모니터링
특허 받은 정밀한 금형 캐비티 내 압력 측정, 신뢰할 수 있는 공정 제어
효율성
첫 번째 배기 단계에서 필요한 압력을 달성하고 유지하여 운영 및 유지보수 비용 절감
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