可靠
减少泄漏和电导率变化的影响，高可重现性，通过可靠的工艺控制避免废品
控制和监测
获得专利的精确模具腔体压力测定，实现可靠的工艺控制
高效
得益于在首次抽真空阶段达到并维持所需压力，运行和维护成本降低
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