可靠
同类产品中最佳的混合轴承技术，卓越的轴承润滑，使用寿命长
高气体流量
高抽速，与多种前级泵兼容，对轻质气体具有出色的压缩比
性能卓越
优化转子几何形状，提高气体负载处理能力
技术规格
市场和应用
分析及实验室
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实验室真空
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等离子体物理
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高能物理
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太空探索
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超高真空
车辆及运输
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太空探索
制药行业
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实验室真空
半导体应用
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PVD
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检验与计量
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金属和高 K 蚀刻
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LPCVD / 扩散
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光刻技术
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氧化物蚀刻
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剥离 / 灰化
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ALD
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PECVD
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Si Poly etch
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Load lock 和 传输
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轻沉积
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离子注入
技术气体
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装瓶
配件
- 电气适配器
- 电源线
- 连接电缆
- 各种现场总线系统
- 电源套件和显示装置
- 安装套件
- 安全阀
- 排气配件
- 排气装置电源故障
- 减振器