Zuverlässig
Erstklassige Hybridlagerung, optimale Schmierung der Lager für eine lange Lebensdauer
Hoher Gasdurchsatz
Hohes Saugvermögen, kompatibel mit einer Vielzahl von Vorpumpen, hohe Verdichtung für leichte Gase
Herausragende Leistung
Optimierte Rotorgeometrie, verbessertes Gaslast-Handling
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Analytik und F&E
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Laborvakuum
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Plasmaphysik
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Hochenergiephysik
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Weltraumforschung
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Ultrahochvakuum
Automobilindustrie und Transport
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Weltraumforschung
Pharmazeutik
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Laborvakuum
Halbleiteranwendungen
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PVD
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Inspektion & Messtechnik
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Metall- & High-k-Ätzen
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Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion
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Lithografie
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Oxid-Ätzen
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Strippen/Veraschung
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ALD
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PECVD
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Poly-Silizium-Ätzen
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Schleusen & Transfer
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Lichtinduzierte Abscheidung
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Ionenimplantation
Technische Gase
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Flaschenabfüllung
Zubehör
- Elektrischer Adapter
- Netzkabel
- Anschlusskabel
- Verschiedene Feldbussysteme
- Netzteil und Anzeigeeinheit
- Montagesatz
- Sicherheitsventil
- Zubehör zum Fluten
- Stromausfallfluter
- Schwingungsdämpfer