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湿气体处理

湿气体处理

在湿法洗涤过程中，废气中的水溶性有害物质会被充分洗涤，并被吸收至液相之中。我们的产品系列能够为各类系统和应用提供合适的解决方案。

优势

采用两级湿式泵级，处理效率高

能够高效地去除水溶性气体和颗粒物

内部中和，最大程度地减少淡水消耗量

了解我们的产品系列

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    CT-W 湿式洗涤器（即插即用）

    适用于处理各种应用产生的废气

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    CT-W 中央湿式洗涤器（管道末端）

    适用于处理大流量的气体

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CT-W 湿式洗涤器（即插即用）

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适用于处理蚀刻、外延等多种工艺所产生的废气

  • 高效、经济高效地处理 HCl、HF、SiH2Cl2、SiCl4 和 NH3 以及其他酸性和碱性废气
  • 此外，还可通过机械进气口清洁、氮气文丘里冲洗和加热废气进气口（适用于 WF6、BCl3、AlCl3 和 NH4Cl）等方式延长设备的正常运行时间

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优势

  • 系统内高效捕获气体和颗粒
  • 通过最大限度地减少淡水消耗，有效降低运行成本
  • 设备的正常运行时间超过 99%，维护快速简便

设备

  • 既可以使用酸性中和剂，也可以使用碱性中和剂进行操作
  • 针对高流量 H2 排放的情况，提供防爆版本
  • 可根据需求定制备用配置方案

行业

  • 半导体
  • 光伏
  • LED
  • 高校及科研机构
  • 化工行业
  • 工业气体制造商
  • 以及其他诸多行业

CT-W 中央湿式洗涤器（管道末端）

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适用于处理大流量的气体

  • 是适用于工业生产操作的管道末端清洗设备
  • 对于 NH3、HCl、HF、甲醇和乙醇等水溶性气体，具有非常高的净化效率
  • 配备多个高压回流喷嘴，能够有效地清洁和分离极为细小的颗粒物

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优势

  • 可定制的中央湿式洗涤器，专门用于处理大流量气体
  • 非常灵活，可根据您的具体需求进行调整

设备

  • 既可以使用酸性中和剂，也可以使用碱性中和剂进行操作
  • 可依据气体的体积流量和气体种类，对设备进行个性化配置

行业

  • 半导体
  • 光伏
  • LED
  • 高校及科研机构
  • 化工行业
  • 工业气体制造商
  • 以及其他诸多行业