坚固耐用
可捕获水溶性气体和颗粒物
便于保养
维护简便快捷，所有保养相关访问点均位于设备正面
高效
通过最大限度地减少淡水消耗，有效降低运行成本，正常运行时间高达 99%
技术规格
市场和应用
冶金
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真空烧结
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真空铜焊 / 钎焊
半导体应用
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金属和高 K 蚀刻
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剥离 / 灰化
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Si Poly etch
太阳能发电行业
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电池制造
配件
- 废气入口加热套
- 废气入口氮气加热
- 进气口清洁装置
- 排气风扇套件