- 凭借磁悬浮轴承实现免维护
- 磨损非常小
- 运行成本更低
- 无油运行
- 低噪音、低振动
- 紧凑型结构
ATH-M / ATP-M
涡轮分子真空泵
ATH-M 和 ATP-M 涡轮分子真空泵通过五轴磁悬浮轴承系统，可实现高真空、超高真空乃至 10⁻¹¹ hPa（mbar）的极高真空度。
这些真空泵专为半导体制造、工业应用和研发等严苛应用设计，其工作原理基于高速转子技术，在保证高抽速的同时实现超低振动运行。
ATH-M / ATP-M
采用磁悬浮轴承技术的免维护涡轮分子真空泵
ATH-M / ATP-M 系列的优势
ATH-M 和 ATP-M 系列凭借磁悬浮轴承技术通过电磁作用结合精密电子控制系统，使转子悬浮旋转，避免与泵体接触。这种非接触式运转消除了摩擦，不仅可以防止涡轮分子真空泵的部件磨损，还实现了免维护，
同时降低了运行噪音和振动水平。这使得 ATH-M 和 ATP-M 涡轮分子真空泵特别适用于对振动敏感的半导体制造等应用。
此外，当电力中断时，泵体旋转动能转化的电能可为磁悬浮轴承持续供电， 确保断电情况下仍能稳定运行数分钟。
我们的涡轮分子真空泵采用变频直流（DC）电机驱动转子。通过调节转子转速匹配目标真空度，从而节省能源和成本。在最新一代的 ATH-M 和 ATP-M 系列涡轮分子真空泵中，驱动装置集成于泵体内部，确保了设备占用空间小。
部分 ATH-M 型号还配备集成式加热系统，可在严苛的化学环境中保持真空泵的性能。这一特性对于化学气相沉积（CVD）等应用至关重要，能够有效防止化学反应副产物在真空系统内部凝结。集成加热功能可使泵体持续恒温运行，降低了冷凝和残留物堆积的风险。
