静音
低噪音和振动水平，非常适合半导体制造工艺和分析仪器中对振动敏感的应用
灵活
与多种前级泵兼容，对轻质气体具有出色的压缩比
几乎免维护
采用磁悬浮轴承，无磨损部件，维护周期长
技术规格
市场和应用
分析及实验室
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等离子体物理
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高能物理
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光子学研究
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超高真空
车辆及运输
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太空探索
平板显示器生产
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物理气相沉积（PVD）
半导体应用
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PVD
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检验与计量
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金属和高 K 蚀刻
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LPCVD / 扩散
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光刻技术
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氧化物蚀刻
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ALD
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PECVD
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钴、WCVD、TiN 和 TDMAT
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Si Poly etch
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Load lock 和 传输
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轻沉积
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离子注入
配件
- 安装套件
- 冷却水阀
- 吹扫气体阀
- 手持式遥控调节器
- 机架式调节器
- 进气保护网
- 加热单元
- 阀门电缆和线圈
- 各种入口法兰类型
- 各种用户界面