3D로 보는 반도체 공장

360º로 살펴보는 파이퍼 베큠의 솔루션들

반도체 생산의 경우 고진공 및 초고진공 범위에서 매우 청정한 조건이 가장 중요합니다. 이를 구현하고 보장하기 위해서는 진공 장비의 신뢰성과 품질이 높아야 합니다.

전형적인 반도체 팹은 4개의 층으로 구성됩니다. 맨 위층인 클린룸에는 생산 설비와, 오염 관리를 위한 특수 설비가 있습니다. 소위 서브플로어라고 부르는 클린룸 아래의 층에는 에어샤워 배기를 위한 건식 로터와 이송 챔버가 있습니다. 그 아래 층에는 설비용 냉각기, 전원 공급장치 및 RF 발전기가 있습니다. 지하층에는 건식 펌프와 배기가스 처리장치(저감장치)가 설치되어 있습니다.

반도체 생산 설비를 위한 당사의 솔루션을 360° 각도에서 3D로 체험하십시오! 당사 반도체 팹 모델의 개별 레벨 및 구성요소를 클릭하여 파이퍼 베큠이 다양한 요구사항에 맞춰 제공하는 제품들을 찾아보십시오!

HiPace 터보 펌프의 작동 원리를 3D로 살펴보기

터보 펌프의 내부를 살펴보십시오

분당 최대 회전수 최대 90.000, 외부 반경에서 거의 음속에 가까운 속도, 최대 10 ~11 mbar의 진공 조건 등으로 당사의 터보 펌프는 성능과 신뢰성을 보장합니다. 기체 분자가 터보 펌프를 흐르는 경로를 따라가면서 3D로 살펴보고, 이를 통해 파이퍼 베큠 HiPace의 작동 원리 및 구조를 확인할 수 있습니다.

루츠 펌프 OktaLine의 작동 원리를 3D로 살펴보기

파이퍼 베큠의 OktaLine 살펴보기

파이퍼 베큠 루츠 펌프의 내부를 살펴보십시오! 3D 단면 모델에서 펌프의 구성요소를 확인하고 기체 분자가 OktaLine을 흐르는 경로을 따라가면서 기체 분자를 살펴볼 수 있습니다. 루츠 펌프의 작동 원리와 디자인에 관해 자세히 알아보십시오.

파이퍼 베큠 A4 시리즈의 다단계 루츠 펌프를 3D로 살펴보기

파이퍼 베큠 A4 시리즈의 다단계 루츠 펌프를 3D로 살펴보십시오!

반도체 산업의 공정은 사용되는 진공 펌프에 대해 계속해서 새로운 도전 과제를 제시합니다. A4 시리즈는 품질이 입증되고 에너지 효율적인 파이퍼 베큠의 다단계 루츠 펌프에 기반한 제품군입니다. 펌프 내의 진행 과정과 분자의 흐름을 따라가 보십시오!

파이퍼 베큠의 ISO-KF 플랜지 시스템을 3D로 살펴보기

파이퍼 베큠은 DIN 28403과 ISO 2861에 따라 ISO-KF 플랜지 시스템을 생산합니다.

파이퍼 베큠 ISO-KF 플랜지 시스템의 디자인, 구성요소 및 작동 원리를 입체적 방식으로 확인해 보십시오!

파이퍼 베큠의 MVP 다이아프램 펌프를 3D로 살펴보기

파이퍼 베큠의 다이아프램 펌프는 좁은 설치 면적과 함께 컴팩트한 디자인 및 기존 시스템과의 용이한 통합을 보장합니다. 펌프의 내부를 3D로 살펴보고 구성요소를 자세히 확인하고 작동 방식을 알아 보십시오!

Take a look inside the DuoLine

Rotary vane pump in 3D

Light, compact, powerful – the rotary vane pumps of the DuoLine from Pfeiffer Vacuum are the smallest in their pumping speed spectrum on the market.

Explore the design of the pumps and follow the molecules on their way in 3D!

ISO-K and ISO-F flange systems

Experience the design, components and functional principle of ISO-K and ISO-F flange systems from Pfeiffer Vacuum in 3D!

PrismaPro quadrupole mass spectrometer in 3D

Functional principle of the PrismaPro quadrupole mass spectrometer

Experience the function and design of the PrismaPro quadrupole mass spectrometer with Faraday and C-SEM detector from Pfeiffer Vacuum. Follow the molecules on their way through the analyzer of the PrismaPro and learn how residual gas analysis is performed in high vacuum!