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AMPC - 주변 다중 포트 제어

AMPC - 주변 다중 포트 제어

AMPC는 클린룸 및 장비 프론트 엔드 모듈(EFEM) 모니터링에 적합한 솔루션입니다.

IC 팹에서 공기 중의 분자 오염(AMC)은 수율 손실의 주요 요인으로 알려져 있습니다. 파이퍼 베큠은 오염이 발생하는 곳을 제어하고 파악하기 위해 현재 반도체 시장에 EFEM(장비 프론트 엔드 모듈) 및 클린룸을 모니터링하는 독창적인 솔루션을 제공합니다.

 
 

단일 단계 로터리 베인 펌프HenaLine

단일 단계 로터리 베인 펌프HenaLine

다양한 디자인으로 저진공 및 중진공 응용분야에 사용되는 단일 단계 회전 날개 펌 프의 전체 모델.

HenaLine은 산업 응용 분야, 코팅 및 연구 개발에 적합한 오일 밀 봉식 회전 날개 펌프 전체로 구성된 시리즈입니다. 오일 분무 분리 기가 내장되어 배기 가스가 깨끗하고 오일이 섞이지 않습니다. HenaLine 시리즈의 펌프 속도 범위는 25 ~ 760 m3/h입니다.

XN 시리즈 - 고부식성 응용 분야용 다단계 루츠 펌프

XN 시리즈 - 고부식성 응용 분야용 다단계 루츠 펌프

부식성이 매우 강한 공정에 최적합한 솔루션.

XN 제품군의 건식 공정 펌프는 대부분의 부식성 공정의 요구사항을 충족하도록 제작되었습니다. 펌프 속도 범위가 600 ~ 2,900 m3/h인 XN 제품군은 내식성이 중요한 대부분의 응용 분야의 요구사항을 충족합니다. 이 혁신적 기술은 정비 빈도를 줄이고 펌핑 수명을 늘려줍니다. 소유 비용은 물론 공구 정지 시간을 대폭 줄여줍니다. XN 제품군 펌프는 다른 시리즈의 펌프와 호환됩니다.

 

ASM 306 S – h쉽고 정확하게 풀타임 스니핑 작업을 할 수 있는 헬륨 및 수소 스니퍼 리크 감지기

ASM 306 S – h쉽고 정확하게 풀타임 스니핑 작업을 할 수 있는 헬륨 및 수소 스니퍼 리크 감지기

쉽고 정확하게 풀타임 스니핑 작업을 할 수 있는 헬륨 및 수소 스니퍼 리크 감지기

스니퍼 리크 감지기 ASM 306 S를 사용하면 e-모빌리티 및 수소 에너지 경제와 같은 신흥 기술이나 냉장 및 공조와 같이 확실히 자리를 잡은 응용 분야에서 스니핑 측정을 통해 리크 제어의 일상적인 문제를 쉽게 해결할 수 있습니다. 감도, 정확성 및 반복성과 관련하여 ASM 306 S는 성능이 이미 입증된 기술의 모든 장점을 제공합니다. 이 감지기는 추적 기체로 헬륨을 사용하든 수소를 사용하든, 이와 관계없이 빠르고 반복 가능하게 측정할 수 있도록 설계되었습니다. 이 장치는 매우 높은 테스트 신뢰성으로 생산성과 품질 수준을 높이며, 대량 리크가 발생할 경우 이를 매우 신속하게 복구함으로써 가동 시간을 최대화할 수 있습니다. ASM 306 S는 헬륨 및/또는 수소 버전 모두에서 2년 동안 보정된 리크를 감지할 수 있습니다.

 

HiScroll - 스크롤 펌프

HiScroll - 스크롤 펌프

저렴한 비용으로 높은 안전성 유지

HiScroll 시리즈는 공칭 펌프 속도가 6 ~ 20 m3/h인 밀폐형 오일 프리 스크롤 펌프 3종으로
구성됩니다. 이 펌프들은 특히 대기에서 배기할 때 고성능을 발휘합니다. 강력한 성능의 IPM* 동기 모터는 기존 드라이브에 비해 효율이 최대 15%가 더 높습니다.

2단계 가스 밸러스트와 역류 방지 밸브가 통합되어 각 공정에 맞춰 안전하게 작동합니다.

HiScroll 펌프는 RS-485 또는 ProfiNet를 통해 다른 파이퍼 베큠 제품(예: 터보 펌프, 디스플레이 및 제어 장치)뿐만 아니라 상위 등급의 타사 제어 장치와도 매우 쉽게 연결할 수 있습니다. 인터페이스를 통해 회전 속도를 조절하고, 상황에 맞게 팬을 제어하며 펌핑 용량을 모니터링할 수 있습니다. 이로써 마모 및 소음 방출을 최소화하는 한편 유지보수 주기를 늘릴 수 있습니다.

 
 

3D로 살펴보는 기체 분석기 GSD 350

3D로 살펴보는 기체 분석기 GSD 350

360º로 살펴보는 파이퍼 베큠의 솔루션들

대기압에서 기체를 분석할 수 있는 컴팩트한 휴대용 벤치탑 장치. 이 장치는 특히 화학 공정, 반도체 산업, 금속 공학, 발효, 촉매 작용, 동결 건조 및 환경 분석에 사용됩니다.

또한 질량 범위에 따라 최대 100 ppb 미만의 낮은 감지 한계, 1 ~ 2 sccm의 낮은 가스 소비 및 최고 1 ms/u의 빠른 측정 시간은 이 신제품 분석기의 특징입니다.

해당 모델을 클릭하여 휴대용 기체 분석기에 대해 자세히 알아보세요. 이 경우 OmniStar 및 ThermoStar 분석기 중에서 선택할 수 있습니다. 옵션(부식성 기체 및 질량 보정 장치)을 대화 방식으로 표시할 수 있습니다.

3D로 보는 반도체 공장

3D로 보는 반도체 공장

360º로 살펴보는 파이퍼 베큠의 솔루션들

반도체 생산의 경우 고진공 및 초고진공 범위에서 매우 청정한 조건이 가장 중요합니다. 이를 구현하고 보장하기 위해서는 진공 장비의 신뢰성과 품질이 높아야 합니다.

전형적인 반도체 팹은 4개의 층으로 구성됩니다. 맨 위층인 클린룸에는 생산 설비와, 오염 관리를 위한 특수 설비가 있습니다. 소위 서브플로어라고 부르는 클린룸 아래의 층에는 에어샤워 배기를 위한 건식 로터와 이송 챔버가 있습니다. 그 아래 층에는 설비용 냉각기, 전원 공급장치 및 RF 발전기가 있습니다. 지하층에는 건식 펌프와 배기가스 처리장치(저감장치)가 설치되어 있습니다.

반도체 생산 설비를 위한 당사의 솔루션을 360° 각도에서 3D로 체험하십시오! 당사 반도체 팹 모델의 개별 레벨 및 구성요소를 클릭하여 파이퍼 베큠이 다양한 요구사항에 맞춰 제공하는 제품들을 찾아보십시오!

개별적인 분석용 진공 솔루션

개별적인 분석용 진공 솔루션

360°로 파이퍼 베큠의 솔루션 개괄

분석 장치 시장에는 분석 프로세스 내에서 진공이 필요한 모든 응용 분야가 포함됩니다.

연구개발 외에도 예를 들어 다음과 같은 시장도 포함됩니다.

  • 생산 관리
  • 환경 분석
  • 휴대용 질량 분석
  • 안전 관리

파이퍼 베큠은 고객의 특별한 요구 사항에 맞춰 개별적인 고객 솔루션을 개발합니다. 다양한 옵션이 제공됩니다. 보기에는 진공 솔루션의 일부만 표시됩니다.

분석 전용 맞춤형 솔루션을 360° 각도에서 3D로 체험하십시오.

당사 모델의 개별 레벨 및 구성요소를 클릭하여 파이퍼 베큠이 귀하의 요구사항에 맞춰 제공하는 제품들을 찾아보십시오.

파이퍼 베큠의 기체 분석기 GSD 350

파이퍼 베큠의 기체 분석기 GSD 350

신제품 OmniStar 및 ThermoStar GSD 350을 사용해보십시오

대기압에서 기체를 분석할 수 있는 컴팩트한 휴대용 벤치탑 장치. 이 장치는 특히 화학 공정, 반도체 산업, 금속 공학, 발효, 촉매 작용, 동결 건조 및 환경 분석에 사용됩니다.

또한 질량 범위에 따라 최대 100 ppb 미만의 낮은 감지 한계, 1 ~ 2 sccm의 낮은 가스 소비 및 최고 1 ms/u의 빠른 측정 시간은 이 신제품 분석기의 특징입니다.

회전 날개 펌프를 사용한 공정의 최적화

회전 날개 펌프를 사용한 공정의 최적화

Duo 65의 예를 사용한 솔루션

회전 날개 펌프는 특정한 공정 기체를 사용하는 작동 모드에서 많이 사용됩니다. 한편 보조 가스를 사용하여 펌프를 최적으로 보호할 수도 있습니다. 기체 밸러스트와 플러싱 기체의 조합은 파이퍼 베큠에서만 사용할 수 있습니다.

기체 밸러스트는 주로 건조, 동결 건조 및 증류에 사용됩니다. 플러싱 기체는 고부하, 부식성 응용 분야 및 부식성 매질을 사용하는 모든 공정에서 선호해서 사용됩니다.

부식을 방지하기 때문에 펌프의 수명을 연장할 수 있습니다. 이 밖에 오일의 교환 주기가 길어 비용이 절감됩니다.

HiPace 터보 펌프의 작동 원리를 3D로 살펴보기

HiPace 터보 펌프의 작동 원리를 3D로 살펴보기

터보 펌프의 내부를 살펴보십시오

분당 최대 회전수 최대 90.000, 외부 반경에서 거의 음속에 가까운 속도, 최대 10 ~11 mbar의 진공 조건 등으로 당사의 터보 펌프는 성능과 신뢰성을 보장합니다. 기체 분자가 터보 펌프를 흐르는 경로를 따라가면서 3D로 살펴보고, 이를 통해 파이퍼 베큠 HiPace의 작동 원리 및 구조를 확인할 수 있습니다.

고성능 루츠 펌프 HiLobe

하이 퍼포먼스 루츠 펌프 HiLobe 3D

3D에서 새로운 고성능 루츠 펌프 HiLobe

HiLobe 시리즈의 새로운 고성능 뿌리 펌프를 3D로 경험하십시오! 이 혁신적인 Roots 펌프는 공칭 펌핑 속도 범위가 520 - 2,100 m³ / h이며 고객 별 요구 사항에 맞게 완벽하게 조정할 수 있습니다.

루츠 펌프 OktaLine의 작동 원리를 3D로 살펴보기

루츠 펌프 OktaLine의 작동 원리를 3D로 살펴보기

파이퍼 베큠의 OktaLine 살펴보기

파이퍼 베큠 루츠 펌프의 내부를 살펴보십시오! 3D 단면 모델에서 펌프의 구성요소를 확인하고 기체 분자가 OktaLine을 흐르는 경로을 따라가면서 기체 분자를 살펴볼 수 있습니다. 루츠 펌프의 작동 원리와 디자인에 관해 자세히 알아보십시오.

파이퍼 베큠 A4 시리즈의 다단계 루츠 펌프를 3D로 살펴보기

파이퍼 베큠 A4 시리즈의 다단계 루츠 펌프를 3D로 살펴보기

파이퍼 베큠 A4 시리즈의 다단계 루츠 펌프를 3D로 살펴보십시오!

반도체 산업의 공정은 사용되는 진공 펌프에 대해 계속해서 새로운 도전 과제를 제시합니다. A4 시리즈는 품질이 입증되고 에너지 효율적인 파이퍼 베큠의 다단계 루츠 펌프에 기반한 제품군입니다. 펌프 내의 진행 과정과 분자의 흐름을 따라가 보십시오!

파이퍼 베큠의 ISO-KF 플랜지 시스템을 3D로 살펴보기

파이퍼 베큠의 ISO-KF 플랜지 시스템을 3D로 살펴보기

파이퍼 베큠은 DIN 28403과 ISO 2861에 따라 ISO-KF 플랜지 시스템을 생산합니다.

파이퍼 베큠 ISO-KF 플랜지 시스템의 디자인, 구성요소 및 작동 원리를 입체적 방식으로 확인해 보십시오!

파이퍼 베큠의 MVP 다이아프램 펌프를 3D로 살펴보기

파이퍼 베큠의 MVP 다이아프램 펌프를 3D로 살펴보기

파이퍼 베큠의 다이아프램 펌프는 좁은 설치 면적과 함께 컴팩트한 디자인 및 기존 시스템과의 용이한 통합을 보장합니다. 펌프의 내부를 3D로 살펴보고 구성요소를 자세히 확인하고 작동 방식을 알아 보십시오!

Rotary vane pump of the DuoLine in 3D

Take a look inside the DuoLine

Rotary vane pump in 3D

Light, compact, powerful – the rotary vane pumps of the DuoLine from Pfeiffer Vacuum are the smallest in their pumping speed spectrum on the market.

Explore the design of the pumps and follow the molecules on their way in 3D!

3D로 살펴보는 ISO-K 및 ISO-F 플랜지 시스템s

3D로 살펴보는 ISO-K 및 ISO-F 플랜지 시스템

파이퍼 베큠의 ISO-K 및 ISO-F 플랜지 시스템의 설계, 구성품 및 작동 원리를 3D로 알아보세요!

3D로 살펴보는 PrismaPro 4중 극자 질량 분석기의 작동 원리

3D로 살펴보는 PrismaPro 4중 극자 질량 분석기의 작동 원리

EFaraday 및 C-SEM 감지기가 장착된 파이퍼 베큠의 PrismaPro 4중 극자 질량 분석기의 기능 및 설계를 알아보세요. PrismaPro 분석기를 통해 분자를 추적하고 고진공에서 잔류 기체 분석이 어떻게 진행되는지 알아보세요!

3D로 살펴보는 ASM 390 및 ASM 392

3D로 살펴보는 ASM 390 및 ASM 392

짧은 펌프 다운 시간, 높은 감도, 정확한 결과, 매우 짧은 테스트 시간: ASM 390과 ASM 392는 반도체 및 디스플레이 산업은 물론 기타 까다로운 응용 분야에 최적합한 리크 감지기입니다.

비접촉식 오일 프리 배압 펌프, 강력한 고진공 펌프 – 리크 감지기는 깨끗한 환경에서 모든 종류의 구성품에 대한 리크 테스트에 적합합니다.

ASM 392로 리크 감지 프로세스의 속도를 더욱 높이세요 - 이 감지기에는 추가 터보 펌프가 장착되어 있습니다!

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