360º로 살펴보는 파이퍼 베큠의 솔루션들

반도체 생산의 경우 고진공 및 초고진공 범위에서 매우 청정한 조건이 가장 중요합니다. 이를 구현하고 보장하기 위해서는 진공 장비의 신뢰성과 품질이 높아야 합니다.

전형적인 반도체 팹은 4개의 층으로 구성됩니다. 맨 위층인 클린룸에는 생산 설비와, 오염 관리를 위한 특수 설비가 있습니다. 소위 서브플로어라고 부르는 클린룸 아래의 층에는 에어샤워 배기를 위한 건식 로터와 이송 챔버가 있습니다. 그 아래 층에는 설비용 냉각기, 전원 공급장치 및 RF 발전기가 있습니다. 지하층에는 건식 펌프와 배기가스 처리장치(저감장치)가 설치되어 있습니다.

반도체 생산 설비를 위한 당사의 솔루션을 360° 각도에서 3D로 체험하십시오! 당사 반도체 팹 모델의 개별 레벨 및 구성요소를 클릭하여 파이퍼 베큠이 다양한 요구사항에 맞춰 제공하는 제품들을 찾아보십시오!