시설 및 정비

반도체 도구 및 그와 관련된 시설에서 발생하는 모든 누출은 제조 처리량 및 생산에 분명히 영향을 줄 수 있습니다. 결과는 임계 안전 위험에 도달하지 못한 공정 사양으로 인한 생산 손실에 따라 달라집니다. 따라서 누출 탐지는 클린룸에서 또는 유지보수 개입 이후에 새 도구를 시운전하는 중요한 필수 단계입니다. 지하층에서, 전방선 및 건식 펌프는 청소나 수리를 위해 정기적으로 교환되기도 합니다. 당사는 공정 챔버에서 가스 저감까지 설치의 진공 무결성을 보장하는 포괄적인 누출 탐지 솔루션을 공급합니다. 목표: 생산 수율 최대화.

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