Pfeiffer Vacuum

컴팩트

경부하공정용 통합펌프
소형 치수의 통합된 경부하 공정 펌프는 반도체 생산 시설에 유연하게 통합할 수 있도록 특별히 개발되었습니다. 공구에 직접 설치할 수 있고 빠른 펌프 다운을 위해 설계된 컴팩트한 경부하 응용 분야용 이 시리즈의 펌프는 부하 락 및 이송 챔버와 기타 모든 비부식성 응용 분야를 위한 완벽한 솔루션입니다.

처리량이 높은 응용 분야용 새로운 솔루션
파이퍼 베큠은 200 m3/h 급으로 처리량이 높은 응용 분야용 신제품인 A 200 L을 출시하면서 다시 한 번 통합형 건식 펌프 시장에서 자사의 세계적인 리더십을 과시했습니다. 100 m3/h 급인 A 100 L과 200 m3/h 급인 A 200 L을 가지고, 파이퍼 베큠은 모든 경부하 응용 분야에 응할 수 있는 전 범위의 제품을 제공합니다.

이점

  • 소형 치수
  • 소형 치수
  • 최적화된 조립체
  • 낮은 소유 비용

응용 분야

  • 부하 락 챔버 및 이송 챔버
  • 반도체 생산
  • 광전지

표준을 세운 통합형 펌프
A 100 L 펌프의 출시 후, 이 펌프는 반도체 산업의 생산 시설에서 펌프의 통합에 혁신을 일으켰습니다. 건식 다 스테이지 루츠 기술에 기초하여 설치 면적이 적음에도 불구하고 통합형 펌프는 펌프 속도가 높고 펌프 다운 시간이 짧습니다. 오늘날 통합형 경부하 펌프는 최첨단 펌프로서, A100 시리즈는 전세계의 많은 300 mm 반도체 공장에 설치되었습니다.

부하 락 챔버 및 이송 챔버용 통합형 펌프
부하 락 챔버 및 이송 챔버와 같이 경부하 응용 분야에서, 이 펌프는 펌프 설치 위치에서 진공 라인의 영향을 받지 않습니다. 통합형 펌프를 사용하면 진공 라인의 설치, 통합 및 시운전 비용이 절감됩니다. 이 펌프는 생산 중 재생 가능한 성능을 제공하고 에너지 효율적입니다. 높은 신뢰성과 장기적인 안정성이 통합형 펌프의 특징입니다.

통합형 펌프 - 반도체 산업에서만 사용되지 않습니다
건식 무분진 진공, 짧은 펌프 다운 시간, 높은 펌프 속도가 특징인 통합형 펌프는 광전지 설비에서도 최적의 솔루션을 제공합니다. 낮은 소음 방출과 낮은 진동은 이 수냉식 시리즈의 추가적인 이점입니다. 크기가 작아 생산 시설에 간단하게 통합할 수 있습니다.

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