마이크로 플로우 – 선도적인 에어 리크 테스트 기술

마이크로 플로우 기술은 누출에 의한 체적 유량을 측정합니다. 테스트할 부품에서 기체가 누출되면 장비는 기체 유량을 보충함으로써 동적 압력 균형을 유지합니다. 이와 같이 보충되는 기체가 센서를 통과하면서 기체 유량이 측정됩니다. 특허를 취득한 센서의 형상이 신호를 증폭하고 최저 5 · 10^-4 mbar · l/s의 매우 낮은 리크율까지 측정할 수 있습니다. 버퍼 체적의 사용과 주위 온도 및 압력에 대한 보상으로 주위 조건이 변화해도 높은 강건성을 유지할 수 있습니다.