질량 추출 - 추적 기체 없이 진공 상태에서의 리크 테스트 절차

질량 추출은 진공 상태에서 실시됩니다. 그 결과 진공 단열 효과로 인해 감지 한계 및 열적 디커플링이 향상됩니다. 이러한 유형의 테스트는 특히 캡슐화된 전자 어셈블리와 같은 패키징 또는 밀봉된 물건에 적합합니다. 테스트하는 동안 테스트 유닛은 진공챔버에 배치되는데 이 경우 진공챔버가 배기됩니다. 테스트 유닛의 리크율은 테스트 유닛에서 진공 저장소로 흐르는 유량에 의해 결정됩니다. 이 방법으로 최대 7 · 10^-7 mbar l/s의 감지 한계에 도달할 수 있습니다.

이 측정 원리를 적용한 다른 프로세스에서는 테스트 유닛의 내부가 배기되면서 흘러 드는 주변 공기가 측정됩니다. 이 방법의 경우 진공챔버가 필요 없기 때문에 테스트 장비의 비용을 절감할 수 있습니다.