전자 모듈 치수(길이 x 너비 x 높이) |
216 x 317 x 111 mm | 8.5 x 12.48 x 4.37 inch |
제어 패널 치수(길이 x 너비 x 높이) |
241 x 54 x 133 mm | 9.49 x 2.13 x 5.24 inch |
중량: 전자 모듈 |
5 kg | 11.02 lb |
중량: 제어 패널 |
1.3 kg | 2.87 lb |
중량: 진공 모듈 |
15 kg | 33.07 lb |
진공 모듈 치수(길이 x 너비 x 높이) |
279 x 264 x 197 mm | 10.98 x 10.39 x 7.76 inch |
최대 전력 소비 |
300 W |
테스트 방법 |
진공 및 스니퍼 누출 감지 |
플랜지(입력) |
1x DN 25 ISO-KF; 2x DN 16 ISO-KF |
헬륨에 대한 최소 감지 가능 누출률(스니핑 누출 감지) |
1.5 · 10-9 Pa m3/s | 1.12 · 10-8 Torr l/s | 1.5 · 10-8 mbar l/s |
헬륨에 대한 최소 검출 가능 누출률(진공 누출 감지) |
저감도 누출 테스트 모드: 3.5 · 10-9 Pa m³/s | 1 · 10-11 Pa m³/s | 고감도 누출 테스트 모드: 5 · 10-13 Pa m³/s |