| 21-C2 Dimensions Electronic module (L x W x H) |
216 x 317 x 111 mm | 8.5 x 12.48 x 4.37 inch |
| 21-C3 Dimensions Control panel (L x W x H) |
241 x 54 x 133 mm | 9.49 x 2.13 x 5.24 inch |
| 21-C4 Dimensions Vacuum module (L x W x H) |
279 x 264 x 197 mm | 10.98 x 10.39 x 7.76 inch |
| E/A-인터페이스 |
6개의 디지털 입력(할당되는 기능 설정 가능), 3개의 아날로그 출력(설정 가능: 헬륨 신호 로그, 가수, 지수, 유입구 압력), 5개의 계전기 출력(할당되는 기능 설정 가능), 4개의 트랜지스터/오픈 컬렉터 출력(할당되는 기능 설정 가능) |
| He 펌핑스피드: 일반 누출 테스트 모드: |
1.8 l/s |
| He 펌핑스피드: 총 누출 테스트 모드: |
6 l/s |
| I/O 인터페이스 |
RS-232, USB |
| 감지 가능한 기체 |
4He, 3He, H2 |
| 감지 가능한 최소 헬륨 누출률(냄새 누출 감지) |
1.5 · 10-9 Pa m3/s | 1.12 · 10-8 Torr l/s | 1.5 · 10-8 mbar l/s |
| 감지 가능한 최소 헬륨 누출률(진공 누출 감지) |
총 누출 테스트 모드: 3.5 · 10-9 Pa m³/s | 일반 누출 테스트 모드: 1 · 10-11 Pa m³/s | 고감도 누출 테스트 모드: 5 · 10-13 Pa m³/s |
