AMPC - 주변 다중 포트 제어

AMPC - 주변 다중 포트 제어

AMPC는 클린룸 및 장비 프론트 엔드 모듈(EFEM) 모니터링에 적합한 솔루션입니다.

IC 팹에서 공기 중의 분자 오염(AMC)은 수율 손실의 주요 요인으로 알려져 있습니다. 파이퍼 베큠은 오염이 발생하는 곳을 제어하고 파악하기 위해 현재 반도체 시장에 EFEM(장비 프론트 엔드 모듈) 및 클린룸을 모니터링하는 독창적인 솔루션을 제공합니다.

고객 이점

  • 화합물(산, 염기, 유기 화합물)에 대한 실시간 측정
  • 샘플링 라인의 우선 순위, 품질 검사(QC) 및 경보 등을 관리하는 혁신적인 소프트웨어
  • 하나의 도구(최대 8개의 분석기)로 수집되는 96개의 샘플링 라인
  • 높은 처리량(3분 내에 분석 및 청소 가능)
  • 샘플링 라인 간에 교차 오염 없음

혁신적인 통합형 밸브 설계 덕분에 AMPC는 팹의 최대 96개 위치에서 산, 염기 및 유기 화합물을 검출하고 정량화하기 위해 최신 분석기의 자료를 수집합니다.

AMPC 제공품에는 다음과 같은 2개의 도구가 포함됩니다. 외부 치수, 라인 수 및 옵션이 서로 다른 AMPC S 및 AMPC L.

이 밖에 AMPC 확장 프레임이 추가 분석기를 위한 39 U의 공간을 제공합니다. 이 프레임은 기존의 AMPC 장치를 업그레이드하거나, 기존의 장치를 새로운 AMPC S 및 AMPC L 장치에 추가할 때 사용할 수 있습니다.

데이터 관리 및 팹 통신
최종 사용자는 도구 소프트웨어를 사용하여 오염 수준이 정의된 임계값을 초과할 때 다양한 경보가 울리도록 설정할 수 있습니다.
모든 측정 결과 및 도구의 매개변수가 데이터베이스에 저장되고, 거기서 팹의 통신 프로토콜로 전송되면서 고객이 실시간으로 팹의 오염 수준을 파악할 수 있습니다.
필요한 경우 고객은 원격으로 도구에 액세스하여 도구의 매개 변수를 수정할 수 있습니다.

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