정교한 잔류 가스 측정을 위한 맞춤형 RGA 시스템

정교한 잔류 가스 측정을 위한 맞춤형 RGA 시스템

잔류가스 분석(RGA)에 대한 심층적인 지식을 바탕으로 한 순도 테스트

기술 요구 사항이 계속 증가하면서 빠르게 확장되는 시장에서는 분자 오염이 제품의 기능에 영향을 미치기 때문에 최고 수준의 청결도가 점점 더 강조되고 있습니다. 전문적인 품질 보증의 핵심은 고진공 조건에서 질량 분석기를 사용하여 가스 방출 속도를 정확하게 결정하는 것입니다. 우리는 잔류 가스 분석을 위한 광범위한 분석 장치 포트폴리오를 통해 수년간 고객을 지원해 왔습니다 . 테스트 요구 사항도 시간이 지남에 따라 변경됩니다. OmniGrade 를 통해 우리는 더 높은 수준의 가치 창출을 제공하고 고객에게 더 많은 혜택을 제공하기 위해 잔류 가스 분석용 제품 포트폴리오를 확장하고 있습니다.

모든 테스트 요구 사항에 맞는 모듈형 원리를 기반으로 한 RGA 시스템

모든 테스트 작업은 다릅니다. 당사의 전문가 팀은 파이퍼 베큠의 모든 제품에 접근하고 이를 사용하여 귀하의 요구 사항에 가장 적합한 시스템을 구성합니다. OmniGrade를 위해 사중 극자 질량 분석기, 진공 펌프, 챔버 및 기타 개별 구성 요소와 같은 개별 구성 요소를 선택할 뿐만 아니라 맞춤형 턴키 솔루션의 총 운영 비용과 배송 시간도 고려됩니다. 당사의 전문 지식을 통해 불필요한 노력을 최소화하면서 필요한 정밀도로 테스트 결과를 얻을 수 있도록 도와드립니다.

측정할 수 있는 정밀도

4중 극자 질량 분석기(PrismaPro 또는 HiQuad) 의 선택 과 챔버 수 결정은 달성 가능한 검출 한계에 상당한 영향을 미칩니다. 표준 시스템에는 두 개의 챔버가 있는데, 하나는 테스트 표본이 놓여 있고 다른 하나는 분광계가 위치합니다. 필요한 경우 이 구조는 세 번째 챔버인 잠금 챔버로 보완될 수 있습니다. 이는 환경으로 인한 측정 챔버의 오염을 방지하고 표면적을 크게 줄입니다. 시스템을 베이크 아웃함으로써 최적의 상태로 조절되어 측정 성능이 더욱 향상됩니다.

OmniGrade 혜택

  • 모듈형 시스템을 사용하여 요구 사항에 맞게 실행
  • 낮은 검출 한계 가능
  • 완전 자동화된 측정 프로세스
  • 전세계 서비스 네트워크
  • GSA 07 1221 및 GSA 07 2221에 따른 테스트

OmniGrade 잔류가스 분석 의 적용 및 적용분야

  • 반도체 생산의 EUV 리소그래피
  • 전자현미경
  • 초고진공(UHV) 응용 분야

맞춤형 시스템이라고 하면

맞춤형 시스템 분야에서는 잔류 가스 분석 시스템 외에도 더 많은 것을 제공할 수 있습니다. 수년간의 경험을 통해 얻은 반도체, 제약, 야금 및 신흥 시장의 요구 사항에 대한 당사의 지식은 귀하가 업계에서 자신의 입지를 확고히 하는 데 도움이 되는 최첨단 시스템 개발에 활용됩니다. 예를 들어, 우리는 모든 단계에서 오염물질을 식별 및 최소화하고 생산 공정을 최적화하는 것을 목표로 하는 오염 관리 시스템을 개발했습니다 . 향상된 품질과 단축된 사이클 시간을 통해 더 높은 수율을 달성합니다.

누출 테스트 작업을 위해 부분적으로 조립된 모듈

자급자족형 장치 외에도 당사는 귀하의 시스템에 통합할 수 있는 모듈형 솔루션도 제공합니다. 여기에는 무엇보다도 연속 생산을 위해 생산 라인에 통합할 수 있는 누출 테스트 모듈 (줄여서 LTM) 이 포함됩니다. 사전 시리즈 생산의 경우 수동 검증을 위한 개별 테스트대로도 사용할 수 있습니다. 고객별로 구성 가능한 모듈은 전체 범위의 테스트 방법 및 매개변수를 포괄할 수 있으며 부분적으로 당사에서 조립합니다. 기계 및 소프트웨어 통합 분야의 경험을 바탕으로 우리는 고객의 솔루션 구현을 지원합니다.

더 알고 싶나요? 저희에게 연락 주시기 바랍니다 , 우리는 귀하의 요구 사항을 기대합니다!

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