자기 결합 회전/선형 동작 피드스루
조작기와 기계식 피드스루를 사용해 낮은 정밀도에서 높은 정밀도까지 진공 동작이 가능합니다.
제품
- 각도 위치를 조절 가능
- 시스템 설치 후 장착하고 원하는 대로 다시 제거 가능
- 직선 및 회전 동작용 건식 윤활 스테인레스강 볼 베어링, UHV에 적합
- 사마륨-코발트 자석을 사용한 마그네틱 커플링
- 기밀 밀봉, UHV에 적합
- 강화 스테인레스강 재질의 샤프트, 직경 12 mm(허용치 h6)
- 자유 회전 및 슬라이드형
- 조정 가능한 스트로크 제한 스톱
