SPM 220, 1–100 u

1-100 u 범위의 스퍼터링 프로세스 가스 분석

제품 설명

  • 최대 0-2 hPa까지 정확한 순간 프로세스 모니터링을 위한 SPM 이온 소스
  • H2, O2, H2O 및 CO2에 대한 탁월한 검출 한계
  • 측정 결과에 대한 백그라운드 영향의 최소화
  • 유연한 통합을 위한 컴팩트한 치수
  • 최대 압력 10 hPa용 차동 펌핑 버전
  • 다양한 디지털 및 아날로그 유입구와 배출구를 사용한 가볍고 유연한 시스템 연결
  • 멀티플렉스 작동으로 1대의 PC를 사용하여 여러 대의 질량 분석기의 데이터를 분석할 수 있습니다

제품

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