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PT M51 360
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SPM 220, 최대 0.01 hPa의 공정 압력용, 안전 밸브 SVV 040 미포함, 115–230 V
주문 번호: PT M51 360

  • SPM 220, 스퍼터 프로세스 모니터, 측정 범위 1-100 u, 115-230 V, 50/60 Hz, 압력 범위가 0,01 hPa > p > 1 · 10-7 hPa인 프로세스 분석 및 잔류 가스 분석용, 구성:
  • 사중극자 전자장치 QME 220이 있는 PrismaPlus, SPM 이온 소스와 두 개의 이리듐 필라멘트가 있는 사중극자 분석기 QMA 200 M, 산화 이트륨 코팅
  • 전원 공급장치 TPS 311 및 외부 액세스를 위한 원격 포트가 있는 제어 패널 BRU 220
  • HiPace 80 및 배압 펌프 MVP 020-3 DC이 있는 터보 분자 펌핑 스테이션
  • 전체 압력 측정 파이프 PKR 251
  • 케이블 세트, 3 미터
  • Windows 7용 Quadera®소프트웨어, PrismaPlus-Systems의 파라미터화를 위한 XP Professional(32bit), Quadera용 SPM 소프트웨어 애드인을 포함하는 측정 데이터의 수용, 저장, 표시

간단한 클릭으로 누출 감지 및 잔류 가스 분석 시작 통합된 매트릭스 계산에 의한 가스 농도 및 부분 압력 결정 일반적인 측정 작업의 스퍼터링 프로세스에 대한 간단한 메뉴 구동식 선택

SPM 시스템 제어 BRU 220
SPM 이온 소스를 사용하는 분석기 QMA 220
감지기 C-SEM/패러데이
감지 한계(아르곤): 산소 < 100 ppb
감지 한계(아르곤): 수소 < 3000 ppb
감지 한계(아르곤): 수증기 < 500 ppb
감지 한계(아르곤): 이산화 탄소 < 100 ppb
감지 한계(아르곤): 질소 < 100 ppb
공급 115-230 V
로드 시스템: 길이 100 mm | 3.94 inch
로드 시스템: 재질 스테인레스 스틸
로드 시스템: 직경 6 mm | 0.24 inch
배압 펌프 MVP 020-3
사중극자 제어장치 QME 220
소프트웨어 Quadera®
시스템 제어 BRU 220
중량: 분석기(터보 포함) 13 kg | 28.66 lb
질량 범위 1 – 100 u
최대 공정 압력 1 hPa | 0.75 Torr | 1 mbar
최대 인입 압력 1 hPa
케이블 길이 3 m
터보 펌프 TC 110 RS가 있는 HiPace 80
플랜지(입력) DN 40 CF-F

치수-TIM-RS

B
290 mm
C
380 mm
파일 타입 언어 날짜 파일용량
데이터 시트 PDF KO 2020-04-02 ~ 600.8 KB
Step 파일 STP KO 2017-01-05 ~ 21.8 MB
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