HPA 220, 최대 1 hPa의 공정 압력용, 이중 게이트 밸브, 수동 작동

주문 번호: PT M52 130

• HPA 220, 고압 분석기, 측정 범위 1 – 200 u, 115 – 230 V, 50/60 Hz, 압력 범위가 0.5 hPa > p > 1 · 10^-7 hPa인 프로세스 분석 및 잔류 가스 분석용, 구성:
• 사중극자 전자장치 QME 220이 있는 PrismaPlus®, 오픈 이온 소스와 두 개의 이리듐 필라멘트가 있는 사중극자 분석기 QMA 200 M, 산화 이트륨 코팅
• 이중 게이트 밸브, 수동 작동, 연결 플랜지 DN 40 CF-F, 교체 가능한 0.1 mm 오리피스 플레이트가 있는 게이트 밸브
• 전원 공급장치 TPS 311 및 외부 액세스를 위한 원격 포트가 있는 제어 패널 BRU 220
• HiPace 80 및 배압 펌프 MVP 020-3 DC이 있는 터보 분자 펌핑 스테이션
• 전체 압력 측정 파이프 PKR 251
• 케이블 세트, 3 미터
• Windows 7용 Quadera®소프트웨어, PrismaPlus-Systems의 파라미터화를 위한 XP Professional(32bit),측정 데이터의 수용, 저장, 표시