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PT M51 120
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HPA 220, 최대 8 hPa의 공정 압력용, HPI 040 P, 전자 공기식 작동
주문 번호: PT M51 120

  • HPA 220, 고압 분석기, 측정 범위 1 – 100 u, 115 – 230 V, 50/60 Hz, 압력 범위가 8 hPa > p > 1 · 10-7 hPa인 프로세스 분석 및 잔류 가스 분석용, 구성:
  • 사중극자 전자장치 QME 220이 있는 PrismaPlus, 오픈 이온 소스와 두 개의 이리듐 필라멘트가 있는 사중극자 분석기 QMA 200 M, 산화 이트륨 코팅
  • 밸브 인터페이스 HPI 040 P, 전자 공압식으로 작동, 연결 플랜지 DN 40 CF-F, 고진공에서 누출 감지 및 잔류 가스 분석을 위하여 벨로우즈 게이트 밸브를 완전 개방 횡단면으로 노출, 다른 챔버 압력에 적응하기 위하여 교체 가능한 오리피스 플레이트(세 번째 오리피스 플레이트, 0.03 mm)가 있는 두 개의 바이패스 밸브가 포함됨
  • 제어 밸브 장치 VCU 220과 Quadera용 HPA 밸브 추가 장치
  • 전원 공급장치 TPS 311 및 외부 액세스를 위한 원격 포트가 있는 제어 패널 BRU 220
  • HiPace 80 및 배압 펌프 MVP 020-3 DC이 있는 터보 분자 펌핑 스테이션
  • 전체 압력 측정 파이프 PKR 251
  • 케이블 세트, 3 미터
  • Windows 7용 Quadera®소프트웨어, PrismaPlus-Systems의 파라미터화를 위한 XP Professional(32bit),측정 데이터의 수용, 저장, 표시
623-Valve interface with orifices Ø 0.1 mm und 0.3 mm HPI 040, 전자 공압식
SPM 시스템 제어 BRU 220
감지기 C-SEM/패러데이
검출한계 최소값 : C-SEM (hPa) 1 · 10-14 hPa | 7.5 · 10-15 Torr | 1 · 10-14 mbar
검출한계 최소값 : faraday (hPa) 5 · 10-12 hPa | 3.75 · 10-12 Torr | 5 · 10-12 mbar
공급 115-230 V
로드 시스템: 길이 100 mm | 3.94 inch
로드 시스템: 재질 스테인레스 스틸
로드 시스템: 직경 6 mm | 0.24 inch
배압 펌프 MVP 020-3
밸브 제어장치 VCU 220
분석기 QMA 220
사중극자 제어장치 QME 220 M
소프트웨어 Quadera®
시스템 제어 BRU 220
아르곤에 대한 감도: C-SEM 200 A/hPa
아르곤에 대한 감도: 패러데이 5 · 10-4 A/hPa
압축 공기 5-7 bar
중량: 분석기(터보 포함) 15 kg | 33.07 lb
질량 범위 1 – 100 u
최대 공정 압력 8 hPa | 6 Torr | 8 mbar
최대 인입 압력 8 hPa
케이블 길이 3 m
터보 펌프 TC 110 RS가 있는 HiPace 80
플랜지(입력) DN 40 CF-F

치수-TIM-RS

A
350 mm
B
290 mm
C
380 mm
D
415 mm
파일 타입 언어 날짜 파일용량
데이터 시트 PDF KO 2020-04-04 ~ 672.4 KB
Step 파일 STP KO 2017-01-05 ~ 25.1 MB
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