초고진공에서의 잔류 기체 분석 - 파이퍼 베큠

초고진공에서의 잔류 기체 분석

PrismaPro® QMG 250 M1, 1–100 u

모듈식 컴팩트 질량 분석기를 고객의 응용분야에 최적화할 수 있습니다. 다음 이온 소스를 사용할 수 있습니다. HV 및 UHV 범위에서 고감도 및 선형성, 잔류 가스 분석, 분석 업무를 갖춘 오픈 이온 소스 가스 인입 시스템과 조합하기 위한 기밀성 이온 소스 직접 가스 흡입을 위한 크로스 빔 이온 소스 특히 UHV에서 잔류 가스 분석을 위한, 탈기체율과 탈리율이 가장 낮은, 그리드 이온 소스

PrismaPro® QMG 250 M2, 1–200 u

모듈식 컴팩트 질량 분석기를 고객의 응용분야에 최적화할 수 있습니다. 다음 이온 소스를 사용할 수 있습니다. HV 및 UHV 범위에서 고감도 및 선형성, 잔류 가스 분석, 분석 업무를 갖춘 오픈 이온 소스 가스 인입 시스템과 조합하기 위한 기밀성 이온 소스 직접 가스 흡입을 위한 크로스 빔 이온 소스 특히 UHV에서 잔류 가스 분석을 위한, 탈기체율과 탈리율이 가장 낮은, 그리드 이온 소스

PrismaPro® QMG 250 M3, 1–300 u

모듈식 컴팩트 질량 분석기를 고객의 응용분야에 최적화할 수 있습니다. 다음 이온 소스를 사용할 수 있습니다. HV 및 UHV 범위에서 고감도 및 선형성, 잔류 가스 분석, 분석 업무를 갖춘 오픈 이온 소스 가스 인입 시스템과 조합하기 위한 기밀성 이온 소스 직접 가스 흡입을 위한 크로스 빔 이온 소스 특히 UHV에서 잔류 가스 분석을 위한, 탈기체율과 탈리율이 가장 낮은, 그리드 이온 소스

이차 전자 증배기를 채택한 4중극자 질량 분석기는 초고진공 챔버에서 기체 구성의 정성적 분석 시 최대의 감지 감도를 제공합니다.

고진공에서 잔류 기체를 분석하기 위해서는 극소량의 기체를 감지해야 합니다. 따라서 파이퍼 베큠 잔류 기체 분석기의 이차 전자 증배기가 4중극자 매스 필터에서 공급하는 적은 이온 전류를 확실히 대폭 증폭시킵니다. UHV에 사용할 모든 재료는 세심하게 선택되며, 높은 베이크아웃 온도를 견딜 수 있습니다.

 
탈기체율이 매우 낮은 그리드 이온 소스를 포함하여 여러 다른 응용 분야에서 몇 가지 이온 소스를 사용할 수 있습니다.

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