Multi-stage Roots pump A4x Series

A4X 시리즈

A4X 시리즈는 부식성이 매우 강한 공정에 사용됩니다.
반도체 생산에서 거친 부하 공정은 언제나 진공 펌프에 대한 새로운 과제를 제기합니다. 품질이 입증되고 에너지 효율적인 멀티 스테이지 루츠 기술에 기초한 A4X 시리즈는 펌프 속도가 160 ~ 1,800 m3/h로 부식성이 매우 강한 공정에 사용되는 광범위한 4가지 건식 펌프 솔루션을 제공합니다.

A4X 시리즈는 이전 시리즈와 완전히 호환됩니다.

장점

  • 멀티 스테이지 루츠 기술, 고효율 모터, 전기 히터의 제한적 사용으로 인한 높은 에너지 효율
  • 내부식성 소재 채택으로 연장된 사용 수명
  • 광범위한 작동 온도로 이전 시리즈에서 볼 수 있던 파손이나 응축 가능한 퇴적 방지
  • 긴 MTBF 및 낮은 소유 비용
  • 공구 가동시간을 높여주는 높은 입자 허용치
  • 펌프 작동 조건의 정확한 제어를 위해 확장된 모니터링 기능 및 유휴 모드 기능
  • Semi S2-0712 및 UL 61010 준수

 

응용 분야

  • 반도체 산업(Etch, PECVD, SACVD, ALD, ...)
  • 코팅 산업 광전지 및 LED

 

부식성이 매우 강한 공정에 최적화된 솔루션
A4H 시리즈의 기술적 장점 및 이점을 모두 갖춘 A4X 시리즈는 내부식성을 높이기 위해 신소재를 채택했습니다. A4H 모델과 비교할 때, 사용 수명이 일부 공정에서 최대 2배에 이르는 등 대폭 늘어났고, 그 결과 소유 비용이 그만큼 줄어듭니다. 이로써 이 건식 펌프는 요건이 까다로운 CVD 및 에칭 공정에 선택할 수 있는 최적의 펌프입니다.
 

A4X 시리즈: 에너지 효율이 매우 높은 CVD 공정용 솔루션
멀티 스테이지 루츠 기술과 고효율 모터로 인해, A4 시리즈는 공정 시 전력 소비량이 매우 낮은 게 특징입니다. 유휴 모드 기능과 사용자 친화적인 회전 속도 조정 기능이 결합되어, 이 건식 펌프 사용 시 운용 비용을 최적으로 절약할 수 있습니다.

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