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Multi-stage Roots Pumps for Medium Duty Applications

A3P 시리즈의

A3P 시리즈의 건식 펌프: 중간 부하 공정 A3P 시리즈 건식 펌프에 사용되는 에너지 효율이 높은 선진 기술은 운영 비용을 줄여줍니다.
A3P 시리즈의 펌프를 가지고, 파이퍼 베큠은 반도체 생산에서 운영 비용을 대폭 절감함으로써 다른 제품과 차별화되는 세 가지 모델로 구성된 펌프 시리즈를 제공합니다. 이전의 펌프 기술과 비교할 때, 최대 50까지 에너지 절감이 가능합니다. 이 펌프는 공정 안정성을 위해 최신 지식을 통합했습니다. 이 밖에 컴팩트한 구조로 이전의 펌프에 비해 최대 50까지 공간을 줄일 수 있습니다.

이점

  • 낮은 운영 비용
  • 작은 설치 면적
  • 경량으로 간단해진 조립
  • 중간 부하 응용 분야에서의 높은 신뢰성
  • 반도체 생산의 요구조건과의 호환성

 

응용 분야

  • 반도체 산업(식각, 주입, PVD, ...)
  • 광전지

 

반도체 산업용 건식 펌프
A3P 시리즈의 건식 펌프는 입증된 다 스테이지 루츠 펌프 기술에 기초했습니다. 펌프의 내부는 부식성 기체에 대한 저항성이 있습니다. 이러한 이유 때문에, 이 펌프는 중간 부하 공정에서 신뢰성이 높습니다. 이 시리즈에서 제공되는 세 가지 모델은 펌프 속도가 광범위하고, 이로써 반도체 산업에서 중간 부하 진공 펌프의 대부분 요구조건을 충족합니다. A3P 시리즈는 클린룸에서의 작업에 적합하고, CE 및 Semi S2 표준을 준수합니다.
 

중간 부하 공정에서의 높은 신뢰성을 위해 설계됨
건식 펌프는 중간 부하 공정에 대한 높은 신뢰성으로 다른 제품과 차별화됩니다. 이 시리즈의 펌프에는 온도 센서와 불활성 기체 플러싱이 있습니다. 낮은 잡음 방출과 낮은 진동 수준이 A3P의 추가적인 특성입니다.

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