공정에 사용되는 다양한 작동 유체 및 진공 오일

작동 유체

파이퍼 베큠은 로터리 베인 펌프용 작동 유체(진공 오일)을 다양하게 제공합니다. 공정에 적합한 작동 유체를 사용함으로써 펌프의 사용 수명을 상당히 연장할 수 있습니다. 단순한 광유가 공기 또는 불활성 기체, 수증기의 펌핑과 같은 응용분야에서 사용됩니다. 여러 번 증류한 광유는 까다로운 응용분야에서 화학적 부식 또는 이온화 플라즈마에 대한 내구성이 우수합니다. 디에스테르는 최대 120 °C까지의 온도에 적합합니다. 퍼플루오르폴리에테르(PFPE)는 화학적으로 불활성으로서 부식성이 강한 화학물질이 사용되는 공정, 예를 들어 반도체 또는 박막 산업과 산소 함유량이 21 % 이상인 매질에 적합합니다.
 

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