비증발형 게터 코팅(NEG)

비증발형 게터 코팅(NEG)

 
스퍼터링은 진공실 및 구성품의 내부 표면을 비증발형 게터(NEG) 재료의 박막으로 코팅하여 이에 자율적 펌핑 용량을 제공하는 데 사용되는 확립된 증착 기술입니다. 이 기술에서는 티타늄(Ti), 바나듐(V), 지르코늄(Zr)으로 구성된, 잘 알려진 NEG 재료를 사용하여 구부러진 긴 튜브에도 강력한 접착력으로 도포되어 균일한 표면을 만들어낼 수 있습니다. 펌핑 효과는 약 180 °C의 낮은 활성화 온도에서 이미 시작됩니다.
 

파이퍼 베큠의 게터 기술
종래의 스퍼터 코팅 공정과 비교할 때 파이퍼 베큠은 이를 대체하는 생산 기술을 제공합니다. 새 스퍼터 기술에서는 크로스 구성품, T-피스 및 독립적으로 설계된 진공실과 같이 복잡한 구조를 코팅할 수 있습니다. 확립된 기술과 비교할 때 이 신기술은 기판에서의 박막 접착력이 더 강력해지고 증착 속도가 빨라졌습니다.
 

주요 응용분야
비증발형 게터 재료의 박막 코팅은 진공실 및 구성품의 내부 표면에 화학적 펌핑 성능을 제공합니다. 이 게터 기술은 형태 또는 공정과 관련된 제약 때문에 독립형 펌프를 사용할 수 없는 분야에서 작업을 해결하는 데 많은 이점을 제공합니다.
 

NEG 코팅의 주요 응용분야는 다음과 같습니다.

  • 가속기용 빔 라인
  • 분석 설비
  • 이동형 운반 챔버
  • 진동 감지 실험
  • 초고진공

 

고객 이점

  • 챔버 생산, 비증발형 게터 코팅 및 품질 제어를 포함한 완전 고객맞춤형 솔루션
  • 활성화 온도가 낮은 비증발형 게터 코팅
  • 새로운 스퍼터 소스에서 가능한 광범위한 부품 형상
  • 기판 코팅을 위한 강력한 접착력

 

고객의 요구사항을 충족시키기 위해 당사는 다음으로 구성된 완전한 생산 및 품질 제어 체인을 제공합니다.

  • 유한요소 해석(FEM: finite element method)을 포함한 진공
  • 고정밀 챔버 제작
  • 예를 들어 레이저 용접 또는 텅스텐 불활성 기체 용접과 같은 첨단 용접 기술
  • 초고진공 응용분야를 위한 청정도
  • 표면 육안 검사
  • 헬륨 누출 감지
  • 잔류 기체 분석(RGA)
  • X-레이 광전자 분광법(XPS)
  • 주사 전자 현미경(SEM)

 

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