XYZ 축 매니풀레이터
조작기와 기계식 피드스루를 사용해 낮은 정밀도에서 높은 정밀도까지 진공 동작이 가능합니다.
제품
- 정밀한 3축 조정을 위한 컴팩트한 설계
- Z축: 재순환형 볼 베어링 가이드 및 재순환형 볼 스크류 드라이브
- XY축: 정밀 크로스 롤러 가이드
- 백래시와 슬립스틱 효과가 없음
- 가이드와 드라이브가 마모되지 않고 정비가 필요하지 않음
- 매우 안정적인 설계 개념으로 압력 변화로 인한 위치 편차를 최소화
- 큰 손잡이가 달린 XY축 마이크로미터나사 - 취급 및 판독 용이
- Z축용 브레이크가 개별 동작을 방지
- 스루홀을 갖춘 연결 플랜지, 스레드홀을 갖춘 트래버스 플랜지
