XYZ 축 매니풀레이터

조작기와 기계식 피드스루를 사용해 낮은 정밀도에서 높은 정밀도까지 진공 동작이 가능합니다.

제품

  • 정밀한 3축 조정을 위한 컴팩트한 설계
  • Z축: 재순환형 볼 베어링 가이드 및 재순환형 볼 스크류 드라이브
  • XY축: 정밀 크로스 롤러 가이드
  • 백래시와 슬립스틱 효과가 없음
  • 가이드와 드라이브가 마모되지 않고 정비가 필요하지 않음
  • 매우 안정적인 설계 개념으로 압력 변화로 인한 위치 편차를 최소화
  • 큰 손잡이가 달린 XY축 마이크로미터나사 - 취급 및 판독 용이
  • Z축용 브레이크가 개별 동작을 방지
  • 스루홀을 갖춘 연결 플랜지, 스레드홀을 갖춘 트래버스 플랜지
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