정밀 매니풀레이터의 XYZ 축

  • XYZ-Axis Precision Manipulator
  • 치수 도면 TIM-RS

고객 가치

  • 최고의 정확도 및 탁월한 재현성
  • 매우 긴 사용 수명
  • 높은 신뢰성
  • 간단하고 인체공학적인 조작의 편의성

제품 설명

  • 정밀한 3축 조정을 위한 컴팩트한 구조
  • Z 축: 볼 베어링 재순환 나사산 드라이브가 있는 볼 베어링 재순환 가이드
  • XY 축: 정밀 크로스 롤러 가이드
  • 유격이 없고 스틱-슬립 효과가 없음
  • 마모성이 없고 정비가 거의 필요없는 가이드 및 드라이브
  • 매우 안정적인 구조로 압력 변동 시 위치 편차를 최소화합니다.
  • 용이한 조작과 판독을 위한 대형 조작 버튼이 있는 XY 축 마이크로 나사
  • Z 축용 파킹 브레이크가 독립적인 동작을 방지합니다.
  • 스루 홀이 있는 연결 플랜지, 나사산 구멍이 있는 전진 플랜지

XY 편향: +/- 12.5 mm

  • 기밀: < 1 · 10-11 Pa m³/s
  • 내경: 38 mm
  • 반복 정확도: 5 µm
  • 베이크-아웃 온도: 230 °C
  • 볼 나사 드라이브의 상승: 2 mm/회전
  • 분해능: 5 µm
  • 압력 범위: 1 · 10-10 hPa ~ 대기압
  • 자재: 다이어프램 벨로우즈: 스테인레스 스틸 316L, 플랜지 및 파이프: 스테인레스 스틸 304L, 하우징: 스테인레스 스틸 304, XY 단위: 양극 산화 알루미늄
  • 작동 온도: -15 bis 80 °C
  • 장착 방향: 임의
  • 정밀도: < 5 µm(XY 축)
명목 직경 A [mm] B [mm] C [mm] D [mm] E [mm] F [mm] 스트로크 거리 [mm] X/Y-편향 [mm] 주문 번호
DN 40 CF 210 – 310 400 82 321 63.5 232 100 ± 12.5 420MXYZ040-100
DN 40 CF 210 – 360 450 82 321 63.5 232 150 ± 12.5 420MXYZ040-150
DN 40 CF 225 – 425 515 82 321 63.5 232 200 ± 12.5 420MXYZ040-200
DN 40 CF 250 – 550 640 82 321 63.5 232 300 ± 12.5 420MXYZ040-300
DN 40 CF 280 – 680 770 82 321 63.5 232 400 ± 12.5 420MXYZ040-400

노트

  • 옵션: 기타 Z 축 행정 거리, 사이클 수가 큰 벨로우즈, 개별 또는 전체 축의 전동화, Z 축 스핀들 IT3 또는 IT1의 허용 오차 등급(표준 IT5), 고객맞춤형 부하에 대한 FEM 분석

노트

ISO 3669 준수 및 ISO/TS 3669-2와 호환 가능한 공칭 규격 DN16 ~ DN250의 플랜지

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