제어 밸브

압력 제어 밸브

Intellisys[IQ] 넌실링 버터플라이 밸브는 장비 제조사에게 우수한 압력 제어 성능과 낮은 입자 생성률을 제공합니다. Intellisys 적응형 알고리즘은 여러 가지 챔버 압력 및 유속 조건에서 실시간으로 위상/이득 설정을 최적화해서 “학습 모드”보다 성능이 뛰어납니다.
Intellisys[IQ] 넌실링 버터플라이 밸브는 장비 제조사에게 우수한 압력 제어 성능과 낮은 입자 생성률을 제공합니다. Intellisys 적응형 알고리즘은 여러 가지 챔버 압력 및 유속 조건에서 실시간으로 위상/이득 설정을 최적화해서 “학습 모드”보다 성능이 뛰어납니다.
Intellisys[IQ] 펜듈럼 밸브는 장비 제조사에게 우수한 압력 제어 성능과 낮은 입자 생성률을 제공합니다. Intellisys 적응형 알고리즘은 여러 가지 챔버 압력 및 유속 조건에서 실시간으로 위상/이득 설정을 최적화해서 “학습 모드”보다 성능이 뛰어납니다.
특수 설계된 밸브는 차단 기능 외에 진공 프로세스에서 가스 정량 공급도 담당합니다.
특수 설계된 밸브는 차단 기능 외에 진공 프로세스에서 가스 정량 공급도 담당합니다.

파이퍼 베큠은 다운스트림 압력 제어 제품인 Intellisys를 가지고 더 높아진 해상도, 속도 및 신뢰성을 통해 공정상 측정 가능한 여러 이점을 제공합니다. 이러한 이점은 모든 Intellisys 제어 시스템에 내장된 두 가지 핵심 기능으로부터 직접 얻어지는 결과입니다. 첫째는 특허를 취득한 기술로서 하드웨어와 소프트웨어를 결합하여 폐쇄 루프의 고유한 방식으로 모터를 제어합니다. 이 기술을 통해 Intellisys 제어 밸브는 고속으로, 그리고 극도로 미세한 위치 분해능으로 작동할 수 있습니다. 둘째는 이러한 기능들에 기반한 적응형 압력 제어 알고리즘으로서 이는 PID(Proportional-Integral-derivative) 매개 변수를 "학습"할 필요없이 광범위한 시스템 조건에서 거의 완벽하게 압력을 제어합니다. 이 기술들은 압력 제어 시스템의 이점 외에 제어 성능과 신뢰성을 최적화하는 다양한 밸브 기능과 특장점을 제공합니다. 특장점으로는 밸브 스트로크 종점을 결정하기 위해 신뢰할 수 없는 기계식 또는 광학 스위치에 의존하지 않고 직접적인 기어 및 볼 스크류 구동방식의 밸브를 선택한 점 등을 들 수 있습니다. 여기서는 폐쇄식 루프 모터 위치 피드백 신호에 의해 감지되는 하드 스톱이 개방 및 폐쇄식 표시기 역할을 합니다. 이밖에 모든 Intellisys 제어 밸브는 유형에 관계없이 제어가 가능하고 양호한 전도도를 유지하도록 설계되었습니다. 스로틀 플레이트와 작동 메커니즘이 안정적인 성능으로 다운스트림 압력 제어 시스템을 작동시킵니다.

완비된 다운스트림 압력 제어 시스템 설계에서는 모두 스로틀 밸브, 밸브 컨트롤러 및 진공 게이지 등 세 가지 구성품이 통합되어 있습니다. 파이퍼 베큠은 이와 같이 모든 카테고리에서 사용 가능한 제품을 제공하고 있습니다. 스로틀링 제품에는 버터플라이 및 펜듈럼 밸브 제품군이 포함됩니다. 밸브의 선택은 원래의 용도에 따라 달라지지만, 각 밸브는 옵션 기능과 특장점이 다양하며 사이즈와 플랜지 유형이 여러 가지로 제공됩니다.

APC(적응형 압력 컨트롤러)는 각 유형의 밸브 또는 밸브 드라이브에 사용할 수 있으며, 두 가지 스타일로 제공됩니다. 첫 번째 스타일의 경우 밸브에 직접 통합된 컨트롤러가 컴팩트한 일체형 솔루션을 제공합니다. 두 번째 스타일에서는 케이블로 밸브에 연결된 독립된 매립형 박스 컨트롤러를 환경이 컨트롤러의 회로 기판에 적합하지 않은 응용 분야에 사용하기 적합합니다. 모든 Intellisys 컨트롤러에는 유형에 관계없이 RS-232 통신 인터페이스와 RS-485, 아날로그/TTL, DeviceNet 및 EtherCat 통신 옵션이 있습니다.

CDG(커패시턴스 다이어프램 게이지)는 비가열 및 가열 모델에서 매우 안정적인 세라믹 다이어프램과 고급 디지털 회로를 탑재했습니다. 이 게이지들은 가스 종류에 관계없이 압력을 정밀하게 측정할 수 있습니다. 이 게이지들은 모든 일반적인 진공 범위에서 사용할 수 있으며 가장 널리 사용되는 진공 연결 제품에서 함께 제공할 수 있습니다.

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