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ATP 2300 M

Turbomolekular-Vakuumpumpen

Oder rufen Sie uns direkt an: +49 6441 802-0

Leise

Niedriges Geräusch- und Vibrationsniveau, perfekt geeignet für vibrationsempfindliche Anwendungen in Prozessen der Halbleiter-Produktion und analytischen Instrumenten

Flexibel

Kompatibel mit einer Vielzahl von Vorpumpen, hervorragendes Verdichtungsverhältnis für leichte Gase

Wartungsfrei

Keine Verschleißteile dank Magnetlagerung, lange Wartungsintervalle

Technische Ausführung

Märkte und Anwendungen

Analytik und F&E
  • Plasmaphysik
  • Hochenergiephysik
  • Photonik-Forschung
  • Ultrahochvakuum
Automobilindustrie und Transport
  • Weltraumforschung
Flachbildschirmproduktion
  • Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)
Halbleiteranwendungen
  • PVD
  • Inspektion & Messtechnik
  • Metall- & High-k-Ätzen
  • Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion
  • Lithografie
  • Oxid-Ätzen
  • ALD
  • PECVD
  • Kobalt, WCVD, TiN & TDMAT
  • Poly-Silizium-Ätzen
  • Schleusen & Transfer
  • Lichtinduzierte Abscheidung
  • Ionenimplantation

Zubehör

  • Installationssatz
  • Kühlwasserventil
  • Spülgasventil
  • Fernbedienung
  • Gestellmontierter Controller
  • Einlass-Schutzgitter
  • Heizgerät
  • Ventilkabel und Spule
  • Verschiedene Saugflansch-Typen
  • Verschiedene Bedienoberflächen