Leise
Niedriges Geräusch- und Vibrationsniveau, perfekt geeignet für vibrationsempfindliche Anwendungen in Prozessen der Halbleiter-Produktion und analytischen Instrumenten
Flexibel
Kompatibel mit einer Vielzahl von Vorpumpen, hervorragendes Verdichtungsverhältnis für leichte Gase
Wartungsfrei
Keine Verschleißteile dank Magnetlagerung, lange Wartungsintervalle
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Analytik und F&E
-
Plasmaphysik
-
Hochenergiephysik
-
Photonik-Forschung
-
Ultrahochvakuum
Automobilindustrie und Transport
-
Weltraumforschung
Flachbildschirmproduktion
-
Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)
Halbleiteranwendungen
-
PVD
-
Inspektion & Messtechnik
-
Metall- & High-k-Ätzen
-
Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion
-
Lithografie
-
Oxid-Ätzen
-
ALD
-
PECVD
-
Kobalt, WCVD, TiN & TDMAT
-
Poly-Silizium-Ätzen
-
Schleusen & Transfer
-
Lichtinduzierte Abscheidung
-
Ionenimplantation