저소음
낮은 소음 및 진동 레벨, 반도체 제조 공정 및 분석 기기의 진동에 민감한 응용 분야에 완벽히 적합
유연성
다양한 보조 펌프와 호환 가능, 경량 기체에 대한 우수한 압축비
유지보수 불필요
자기 베어링 기술로 마모성 부품 없음, 긴 유지보수 간격
기술 사양
시장 & 어플리케이션
연구 및 R&D
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플라즈마 물리학
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고에너지 물리학
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광자 조사
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초고진공
자동차 및 운송
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우주 연구조사
평면 패널 디스플레이 생산용
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물리적 증착(PVD)
반도체 응용 분야
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PVD
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검사 및 계측학
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금속 및 높은 K 에칭
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LPCVD / 확산
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미세가공기술
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산화물 에칭
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ALD
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PECVD
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코발트, WCVD, TiN 및 TDMAT
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Si Poly 에칭
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로드 잠금 및 이동
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라이트 메탈 증착
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이온 이식