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전 세계

ATP 2300 M

터보 진공 펌프

또는 당사에 문의하십시오: +49 6441 802-0

저소음

낮은 소음 및 진동 레벨, 반도체 제조 공정 및 분석 기기의 진동에 민감한 응용 분야에 완벽히 적합

유연성

다양한 보조 펌프와 호환 가능, 경량 기체에 대한 우수한 압축비

유지보수 불필요

자기 베어링 기술로 마모성 부품 없음, 긴 유지보수 간격

기술 사양

시장 & 어플리케이션

연구 및 R&D
  • 플라즈마 물리학
  • 고에너지 물리학
  • 광자 조사
  • 초고진공
자동차 및 운송
  • 우주 연구조사
평면 패널 디스플레이 생산용
  • 물리적 증착(PVD)
반도체 응용 분야
  • PVD
  • 검사 및 계측학
  • 금속 및 높은 K 에칭
  • LPCVD / 확산
  • 미세가공기술
  • 산화물 에칭
  • ALD
  • PECVD
  • 코발트, WCVD, TiN 및 TDMAT
  • Si Poly 에칭
  • 로드 잠금 및 이동
  • 라이트 메탈 증착
  • 이온 이식

액세서리

  • 설치 키트
  • 냉각수 밸브
  • 세척 가스 밸브
  • 핸드헬드 원격 컨트롤러
  • 랙 마운트 컨트롤러
  • 유입구 보호 스크린
  • 히터 장치
  • 밸브 케이블 및 코일
  • 다양한 유입구 플랜지 유형
  • 다양한 사용자 인터페이스