Herausragende Leistung
Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie, glockenförmige Konstruktion, patentierte selbstausbalancierende Schrauben, hervorragende Laufeigenschaften, optimal geeignet für Aufgaben in Load-Lock- und Transferkammern, für Messtechnik, Lithografie, physikalische Gasphasenabscheidung und Rapid Thermal Annealing
Effizient
Intelligenter Antrieb mit Drehzahlregelung, niedrige Betriebskosten, minimale Wartung, hohe Verfügbarkeit, direkte Wasserkühlung
Kompakt
Platzsparende Konstruktion, direkt montierter Spaltrohrmotor, integriertes Bedienpanel
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Halbleiteranwendungen
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Oxid-Ätzen
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Strippen/Veraschung
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Kobalt, WCVD, TiN & TDMAT
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Poly-Silizium-Ätzen
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Ionenimplantation