性能出色
先进的螺杆设计，钟形悬臂结构，荣获专利的自平衡螺杆，出色的运行品质，非常适用于 load lock 腔和传送腔、计量、平版印刷术、物理气相沉积以及快速热退火等应用
高效
智能变速驱动装置，拥有成本低，维护少，正常运行时间长，直接水冷却
结构紧凑
密闭式设计，直联的罐装电机，集成控制面板
技术规格
市场和应用
半导体应用
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氧化物蚀刻
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剥离 / 灰化
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钴、WCVD、TiN 和 TDMAT
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Si Poly etch
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离子注入