고성능
고급 스크류 설계, 벨 형상 구조, 특허를 획득한 셀프 밸런싱 스크류, 우수한 작동 품질, 로드 록 및 트랜스퍼 챔버에서의 작업, 계측학, 미세가공기술, 물리적 증착 및 고온 순간 열처리에 매우 적합
효율성
지능적인 가변 속도 구동, 낮은 소유 비용, 최소한의 유지보수, 높은 가동 시간, 직접 수냉식
컴팩트
어디에나 설치 가능한 디자인, 직결식 캔드 모터, 통합 콘트롤 판넬
기술 사양
시장 & 어플리케이션
반도체 응용 분야
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산화물 에칭
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스트리핑 / 애싱
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코발트, WCVD, TiN 및 TDMAT
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Si Poly 에칭
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이온 이식