Sauber
Einhaltung der Emissionsgrenzwerte für 20 mg/Nm³ Feinstaub (TA-Luft)
Sicher
Sichere Partikelabscheidung dank integriertem Staubsammelbeutel
Wartungsfrei
Automatische Reinigung der Filterelemente während des Betriebs ohne Prozessunterbrechung
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Halbleiteranwendungen
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Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion
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Oxid-Ätzen
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PECVD
Zubehör
- Staubbeutel
- Filterelement