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CT-PF

입자 필터

또는 당사에 문의하십시오: +49 (0)6441 802-1222

청정

20mg/Nm3 미립자 물질(TA-Luft) 배출 제한 준수

안전

동봉된 집진 백으로 미립자 폐기물을 안전하게 처리

유지보수 불필요

공정 중단 없이 작동 중 필터 소자 자동 세척

기술 사양

시장 & 어플리케이션

반도체 응용 분야
  • LPCVD / 확산
  • 산화물 에칭
  • PECVD

액세서리

  • 먼지 가방
  • 필터 소자