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CT-PF

微粒过滤器

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清洁

符合 20 mg/Nm³ 颗粒物排放限值(TA-Luft)

安全

由于采用封闭式集尘袋,能够安全地处理颗粒状废弃物

几乎免维护

运行期间自动清洁滤芯,无需中断工艺流程

技术规格

市场和应用

半导体应用
  • LPCVD / 扩散
  • 氧化物蚀刻
  • PECVD

配件

  • 集尘袋
  • 滤芯