내구성
수용성 가스 및 입자 포집
편리한 수리
빠르고 손쉬운 유지보수, 전면에서만 서비스 관련 접근 가능
효율성
물 사용량을 최소화하여 운영 비용 절감, 최대 99% 가동 시간
기술 사양
시장 & 어플리케이션
금속 공정
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진공 소결
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진공 납땜/솔더링
반도체 응용 분야
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금속 및 높은 K 에칭
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스트리핑 / 애싱
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Si Poly 에칭
태양열 발전 산업용
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셀 제조
액세서리
- 폐기물 가스 유입구용 가열 재킷
- 폐기물 가스 유입구용 N₂ 가열
- 유입구 세척 장치
- 가스 유출구용 팬 키트