Zuverlässig
Erstklassige Hybridlagerung, optimale Schmierung der Lager für eine lange Lebensdauer
Hoher Gasdurchsatz
Hohes Saugvermögen, kompatibel mit einer Vielzahl von Vorpumpen, hohe Verdichtung für leichte Gase
Herausragende Leistung
Optimierte Rotorgeometrie, verbessertes Gaslast-Handling
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Analytik und F&E
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Laborvakuum
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Plasmaphysik
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Hochenergiephysik
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Massenspektrometrie
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Weltraumforschung
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Ultrahochvakuum
Automobilindustrie und Transport
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Wärmebehandlung
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Lecksuche und EoL-Prüfung
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Weltraumforschung
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Elektronenstrahlschweißen
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3D-Druck
Stromerzeugung
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Grüne Energieerzeugung
Krankenhäuser und medizinische Einrichtungen
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Massenspektrometer
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Medizinischer Beschleuniger
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Diagnostische Bildgebung
Wasserstoff
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Lecksuche und EoL-Prüfung (Master)
Produktion von Lithium-Ionen-Batterien
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Lecksuche und EoL-Prüfung (Master)
Metallurgie
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Elektronenstrahlschweißen
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Vakuumlöten
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3D-Druck
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Wärmebehandlung
Pharmazeutik
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Laborvakuum
Kühlung
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Lecksuche und EoL-Prüfung
Wissenschaftliche Instrumente
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Massenspektrometrie
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Oberflächenanalyse
Halbleiteranwendungen
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PVD
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Inspektion & Messtechnik
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Metall- & High-k-Ätzen
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Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion
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Lithografie
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Oxid-Ätzen
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Strippen/Veraschung
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ALD
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PECVD
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Poly-Silizium-Ätzen
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Schleusen & Transfer
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Lichtinduzierte Abscheidung
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Ionenimplantation
Technische Gase
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Flaschenabfüllung
Dünnfilmbeschichtung
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Laborbeschichtung
Zubehör
- Elektrischer Adapter
- Netzkabel
- Anschlusskabel
- Verschiedene Feldbussysteme
- Netzteil und Anzeigeeinheit
- Montagesatz
- Sicherheitsventil
- Zubehör zum Fluten
- Stromausfallfluter
- Schwingungsdämpfer