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전 세계

HiPace 700

터보 진공 펌프

또는 당사에 문의하십시오: +49 6441 802-0

신뢰성

동급 최고의 하이브리드 베어링 기술, 우수한 베어링 윤활로 긴 수명 주기 보장

높은 가스 처리량

높은 흡입 용량, 다양한 보조 펌프와 호환 가능, 경량 가스에 대한 높은 압축력

고성능

최적화된 로터 형상, 향상된 가스 부하 취급

기술 사양

시장 & 어플리케이션

연구 및 R&D
  • 실험실 진공
  • 플라즈마 물리학
  • 고에너지 물리학
  • 질량 분석
  • 우주 연구조사
  • 초고진공
자동차 및 운송
  • 열 처리
  • 누출 감지 및 EoL 검사
  • 우주 연구조사
  • E-빔 용접
  • 3D 프린팅
전력 생산용
  • 친환경 에너지 생산
병원 및 의료 시설
  • 질량 분석계
  • 의료용 가속기
  • 진단 이미징
Hydrogen
  • 누출 감지 및 EoL 검사(마스터)
리튬 이온 배터리 생산
  • 누출 감지 및 EoL 검사(마스터)
금속 공정
  • E-빔 용접
  • 진공 납땜/솔더링
  • 3D 프린팅
  • 열 처리
제약 산업
  • 실험실 진공
냉각 장치
  • 누출 감지 및 EoL 검사
과학 기기
  • 질량 분석
  • 표면 분석
반도체 응용 분야
  • PVD
  • 검사 및 계측학
  • 금속 및 높은 K 에칭
  • LPCVD / 확산
  • 미세가공기술
  • 산화물 에칭
  • 스트리핑 / 애싱
  • ALD
  • PECVD
  • Si Poly 에칭
  • 로드 잠금 및 이동
  • 라이트 메탈 증착
  • 이온 이식
기술적 가스
  • 병입
박막 코팅
  • 실험실 코팅

액세서리

  • 전기 어댑터
  • 전원 케이블
  • 연결 케이블
  • 다양한 필드버스 시스템
  • 전원 공급 장치 키트 및 디스플레이 장치
  • 장착 키트
  • 안전밸브
  • 배기 액세서리
  • 출력 장애 배기 장치
  • 진동 댐퍼