Zuverlässig
Erstklassige Hybridlagerung, lange Lebensdauer, maximale Verfügbarkeit
Einfache Wartung
Lagerwechsel vor Ort, unempfindlich gegenüber Prozessstaub
Herausragende Leistung
Speziell entwickelt für Beschichtungsprozesse, optimiertes Rotor/Stator-Konzept
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Halbleiteranwendungen
-
PVD
-
Inspektion & Messtechnik
-
Metall- & High-k-Ätzen
-
Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion
-
Lithografie
-
Oxid-Ätzen
-
Strippen/Veraschung
-
ALD
-
PECVD
-
Poly-Silizium-Ätzen
-
Schleusen & Transfer
-
Lichtinduzierte Abscheidung
-
Ionenimplantation
Zubehör
- Elektrischer Adapter
- Netzkabel
- Anschlusskabel
- Verschiedene Feldbussysteme
- Netzteil und Anzeigeeinheit
- Montagesatz
- Sicherheitsventil
- Zubehör zum Fluten
- Stromausfallfluter
- Schwingungsdämpfer